A plazma-kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD) eljárásban minden elektromos csatlakozás, az RF teljesítményátviteltől a technológiai gáz szabályozásáig, közvetlenül befolyásolja a vékonyréteg-leválasztás egyenletességét és a chiphozamot. A miniatürizált berendezések, a nagy vákuum és az erős elektromágneses interferencia okozta zord környezettel szembesülve...WAGOA picoMAX® csatlakozók, három fő előnyükkel – „kompaktság, megbízhatóság és hatékonyság” – ideális csatlakozási megoldássá váltak a PECVD rendszerekhez.
Innovatív kompakt kialakítás
Alkalmazkodás a precíziós kamraelrendezésekhez
A PECVD berendezések belső tere korlátozott, ami a táp-, jel- és érzékelővezetékek sűrű elrendezését igényli a reakciókamra körül. A picoMAX® egyrugós, kettős működésű kialakítást alkalmaz, több, 3,5/5,0/7,5 mm-es tűosztással. Illesztés után 30%-kal kevesebb helyet foglal el, mint a korábbi termékek, így tökéletesen alkalmazkodik a kamra körüli kábelezési követelményekhez. Lyukas csatlakozója szinte teljesen be van ágyazva a tűs sorkapocsba, így pólusveszteség nélkül lehet egymás mellett összeszerelni, jelentősen javítva az áramköri lap kihasználtságát, és lehetővé téve a jel- és tápvezetékek rendezett elrendezését a technológiai gáz áramlási mezőjének zavarása nélkül.
Robusztus védelem extrém üzemi körülmények között
A PECVD eljárások nagy vákuumot, nagyfrekvenciás plazmát és rezgési környezetet foglalnak magukban, ami szigorú követelményeket támaszt a csatlakozók megbízhatóságával szemben. A picoMAX® stabil szerkezettel rendelkezik, akár 12 g rezgésállósággal, megakadályozva a nagyfrekvenciás rezgés okozta csatlakozások kilazulását. Emellett beépített téves behelyezés elleni kialakítással és reteszelő eszközzel is rendelkezik, amely kiküszöböli a telepítési hibákat és megakadályozza a véletlen leválasztást, biztosítva a berendezés folyamatos működését állásidő nélkül.
Szerszám nélküli gyorscsatlakozás
A picoMAX® szerszámmentes gyorscsatlakozós technológiával rendelkezik, amely lehetővé teszi a „plug-and-hold” csatlakozásokat mind az egyeres, mind a többeres vezetékek esetében hidegen sajtolt csatlakozókkal. Az összetett kábelezési csatlakozások egyetlen lépésben készülnek el, ami jelentősen javítja az összeszerelési hatékonyságot és lerövidíti a hibakeresési ciklusokat. A moduláris kialakítás kompatibilis az újraömlesztési forrasztási eljárásokkal, kielégítve az automatizált gyártás költségcsökkentési igényeit. Emellett minden PECVD csatlakozási forgatókönyvet lefed: a 3,5 mm-es tűtávolság 0,2-1,5 mm²-es jelvezetékeket fogad be, míg az 5,0/7,5 mm-es tűtávolság 16 A-es tápvezetékeket támogat. Támogatja a vezeték-panel és a falon átmenő telepítési módszereket, kompatibilis a vezérlőszekrény és az üreges kábelezéssel, és megfelel a GB/T 5226.1 elektromos biztonsági szabványoknak, szilárd védelmet nyújtva a folyamat stabilitása érdekében.
A félvezetőiparban, ahol a nanométeres szintű folyamatpontosság kiemelkedő fontosságú, a megbízható csatlakozások garantálják a magas hozamot.WAGOA picoMAX® forradalmi terméktervezési koncepciójával a „kis méret, nagy teljesítmény” elvét alkalmazza kompakt méretben, stabil, hatékony és tartós csatlakozási megoldásokat kínálva a PECVD berendezésekhez. Ez segít a félvezetőgyártóknak leküzdeni a precíziós folyamatcsatlakozások kihívásait, és biztosítja minden chip mikrométeres pontosságát.
Közzététel ideje: 2026. márc. 13.